Trichlorosilane 三氯氢硅 (SiHCl3)
Trichlorosilane 三氯氢硅 (SiHCl3)
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Total Purity 纯度：>99.95%
Vapor Phase Impurities
气相杂质
Contaminants 杂质 | Specifications 规格 | |
Fe | 铁 | <5 ppb |
Cr | 铬 | <2 ppb |
Mn | 锰 | <0.2 ppb |
Ni | 镍 | <1 ppb |
Al | 铝 | <1 ppb |
Mo | 钼 | <1 ppb |
Cu | 铜 | <0.05 ppb |
Co | 钴 | <0.02 ppb |
B | 硼 | <0.06 ppb |
P | 磷 | <0.01 ppb |
O | 氧 | <1 ppm |
Resistivity | Resistivity 电阻系数 | >800 ohm-cm |
Standard Package Information
包装规格
Cylinder Type气瓶规格 | CMC |
Fill Weight充装量 (kg) | CMC |
Valve Connection 阀门(CGA) | CMC |
Trichlorosilane 三氯氢硅 (SiHCl3) 2011-10-20 本文被阅读 7476 次
